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前端預(yù)熱滑軌PECVD
該P(yáng)ECVD(等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng))系統(tǒng)，有多路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)(進(jìn)口流量計(jì))，真空機(jī)組(進(jìn)口真空泵)，PE射頻電源(進(jìn)口射頻源)，溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：本設(shè)備主要針對(duì)實(shí)驗(yàn)中試石墨烯生長(zhǎng)和制備使用，同時(shí)該設(shè)備可以用于碳納米管的生長(zhǎng)
特點(diǎn)及用途：PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，...
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：本設(shè)備主要針對(duì)實(shí)驗(yàn)中試石墨烯生長(zhǎng)和制備使用，同時(shí)該設(shè)備可以用于碳納米管的生長(zhǎng)
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